微行星齿轮减速器可以降低微马达的转速，进步微马达的输出力矩，是微机电系统的重要组成部件。1994 年日本东芝技术研讨所运用微细电火花技术（EDM ） 制造出了模数为0104 mm、减速比为44.2 的微行星齿轮减速器[ 1 ]；1998 年，上海交通大学用EDM 技术研制出了模数为0.06mm、减速比为44.2 的微行星齿轮减速器[ 2 ]。运用同步辐射光和X 射线掩模板的L IGA 技术能够制造大深宽比的三维微结构，该结构侧壁峻峭，表面平整[ 3 ]。应用LIGA 技术的特性，我们又研制出模数为0.3 mm、_外径为2 mm 的3K- 2 型微行星齿轮减速器。

1　微行星齿轮减速器的设计

图1 是微行星齿轮减速器结构表示图，a、g、b、e 分别是太阳轮、行星轮、固定内齿轮、旋转内齿轮。太阳轮是输入轮，旋转内齿轮是输出轮。输入输出同轴。
 
图1　微行星齿轮减速机有3个理论中心距，分别是太阳轮和行星轮的理论中心距aag，固定内齿轮和行星轮之间的理论中心距abg，旋转内齿轮和行星轮之间的理论中心距aeg。3 个理论中心距彼此不同，为了_啮合，在行星轮g 和别的齿轮之间必需有一个共同的理论中心距。显然，理论中心距的_值amax 和_小值amin 之间。为_微齿轮的加工性和啮合性，避免微齿轮干预，我们设定微齿轮的变位系数是正值，旋转内齿轮的变位系数x e =0。由于旋转内齿轮的齿数_多，旋转内齿轮的变位系数取为0 可有效降低微减速器的尺寸。基于以上设定，我们在amax 和am in 之间插值，_可以得到理论中心距为[ 4 ]

a = amin + 0.76 （amax - amin）

有了理论中心距，根据通常行星齿轮减速器的计算公式[ 5 ] ，_可计算出微齿轮的参数。表1 是模数为0.03 mm 的微行星齿轮减速器的计算参数。
表1　模数为0.03mm的微行星齿轮减速器的计算参数

2　X射线掩模板的CAD技术及加工

在用L IGA 技术中止加工时，需求先制造出X 光掩模板图形，掩模板图形是经过矩形窗口在光刻胶上连续曝光而构成的。因此，用LIGA 技术制备微齿轮的_步是要把齿轮中止矩形分割，且矩形窗口在0.1～ 150μm之间（视掩模板曝光机技术参数而定） ，分割要包容_的区域，只允许堆叠，不允许遗漏，否则，曝光不到的中央将不能显影成图形，齿轮的制造也只能以失败告终。基于以上思索，将各个微齿轮图形分割成无数个长方形图形，并在坐标系中以五参数（M 、N 、Q、a、b）表示，其中M 、N 为长方形中心坐标，Q 为长方形一边与水平轴夹角，a、b 分别为长方形的边长。齿轮减速机的太阳轮、行星轮、固定内齿轮、旋转内齿轮分别被分割成1095、803、1548、1443 个曝光矩形窗口。这些矩形窗口转化成曝光机可识别的加工数据文件输出。图2 是太阳轮、外轮齿分割图，图3 是内齿轮、内轮齿分割图。